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半导体C-V测量基础(吉时利)

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:716 | 2010-03-13

李丽

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半导体C-V测量基础(吉时利)

C-V测量为人们提供了有关器件和材料特征的大量信息。

电容-电压（C-V）测试广泛用于测量半导体参数，尤其是MOSCAP和
MOSFET结构。此外，利用C-V测量还可以对其他类型的半导体器件和工
艺进行特征分析，包括双极结型晶体管（BJT）、JFET、III-V族化合物
器件、光伏电池、MEMS器件、有机TFT显示器、光电二极管、碳纳米管
（CNT）和多种其他半导体器件。

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