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静电耗散材料电阻和电阻率的测量
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2010-08-29
张静
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静电耗散材料电阻和电阻率的测量
表面电阻/表面电阻率, 体积电阻/体积电阻率, 点对点电阻, 接地电阻的测量
l 表面电阻, 体积电阻, 点对点电阻, 接地电阻单位: Ω
l 表面电阻率单位: Ω/□
l 体积电阻率单位: Ω•cm
l 静电耗散材料标准:
n 表面电阻: 104-1011Ω; 表面电阻率: 105-1012Ω/□
n 体积电阻: 104-1011Ω; 体积电阻率: 104-1011Ω•cm
n 点对点电阻：104-1011Ω
n 工作台面接地电阻：< 109 Ω
n 防静电地板接地电阻：< 109Ω
n 导静电地板接地电阻：< 106Ω
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