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应用再流动现象于自动组装之3D光学微机电结构设计与测试

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:3021 | 2010-09-08

刘润生

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本論文之目的在於BCB光阻材料以不同
的製程參數於再流動的結果加以探討之外，並
將其再流動之特性應用於三維光學鏡片的自
動組裝過程。本文採用SOI晶片來避免繁雜的
面加工製程，並用DRIE蝕刻機器來蝕刻出所要
的結構圖案，並將光阻材料鋪在結構相關位置
來當作絞鍊，再經由結構分離與光阻再流動等
步驟後即完成三維光學鏡片自動組裝的製
作。此外，亦設計將三維光學鏡片與致動器整
合，擬製作出可旋轉式的三維自動組裝之微光
學鏡片。
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