该课程是根据半导体器件设计、制造、工艺这一流程而设计的实验课程,L-edit是针对版图设计而编制的应用软件,学生通过课程的学习,对半导体器件的设计、制造、工艺等方面有一个全面的了解,实验课程分为三大部分。
(1) 集成电路工艺流程
(2) 测量
(3) 用L-edit软件进行集成电路的设计
在此,主要讨论第三部分:用L-edit软件进行集成电路的设计中的重点、难点和心得体会。
L-Edit是一个图形编辑器,它允许生成和修改集成电路掩模版上的几何图形。鼠标接口允许用户执行一般图形操作。既可使用鼠标访问下拉菜单也可以使用键盘来调用L-Edit命令。
结合双极型集成电路为例,来说明集成电路中元件的形成过程以及版图设计的一般过程。双极型集成电路的基本制造工艺,可初略的分为两类:一类为在元器件间要作电隔离区,另一类为元器件间自然隔离,具体讲有如下的步骤:
①划分隔离区
②基本设计条件的确定,包括采用的工艺,基本的工艺设计参数和版图设计规则。
③各单元的图形设计,集成电路中各元器件的图形和尺寸,取决于它在集成电路中的作用以及对参数的要求,所有尺寸的设计要符合版图设计规则的要求。所以在进行各单元的图形、尺寸设计前,首先要对电路进行分析。
④布局,即把元器件按照电路的要求以及连线的要求,安排在合适的位置上。
⑤布线,即按照电路的连接关系以及连线的要求,把元器件连接成电路的符合版图。
在教学过程中发现学生在学习L-edit软件的过程中存在几个突出的概念性误区,下面我分三个方面来谈:
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