荷兰ISTEQ公司TEUS系列EUV光源
产品介绍：
ISTEQ公司开发了一种基于激光产生等离子体（LPP）的EUV光源。该光源具有极高的亮度和极高的稳定性。它采用可自刷新的材料，无需中断和更换燃料盒，因此持续运行时间极长。
ISTEQ公司为LPP光源开发的燃料是针对特定应用的光谱范围而设计的。然而，对于掩模检查的应用，公司开发了一种高频锡旋转靶，已在全球范围内获得专利。
产品特点：
·高亮度以及出色的稳定性
·最少的碎片
·极高的正常运行时间
·高占空比和交钥匙操作
·用户友好的自动化协议，确保系统平稳运行，没有中断的风险。
产品应用：
·掩模和表面检查：
·图案掩模检测 (PMI)
·区域掩模检测 (AIMS)
·掩模空白检测 (MBI)
·EUV 扫描仪检
·材料科学
·晶圆检查
TEUS 系列激光等离子体光源 |
型号参数：
型号 | TEUS S-100 | TEUS S-200 | TEUS S-400 |
激光平均功率W | 100 | 200 | 400 |
脉冲重频 kHz | 25或70 | 50或135（可调） | 100或200（可调） |
EUV功率立体角 sr | 0.05 | ||
等离子体尺寸 μm | ≤ 60或 ≤ 40 | ≤ 60或 ≤ 45 | |
带内辐射转换效率(13.5 nm±1%) | 2 % @2π·sr or 1.6% @2π·sr | ||
碎片处理系统后角内光通量mW | 11 或 9 | 22 或 18 | 44 或 40 |
碎片处理系统后光谱亮度W/mm2·sr | ≥ 80或 ≥ 140 | ≥ 160或 ≥ 280 | ≥ 310或 ≥ 500 |
等离子体稳定性 | 3% rms | ||
在24/7运行状态下，在不使用特殊膜过滤器情况下，收集器寿命下降10% | 不少于8个月 | 不少于4个月 | 不少于2个月 |
在24/7运行状态下，使用特殊膜过滤器情况下，收集器寿命下降10% | 不少于18个月 | 不少于9个月 | 不少于4个月 |
维护时间间隔 | 4 个月 - 1 天 | 3个月 - 2天 | 2个月 - 1天 |
24/7 运行模式下的正常运行时间*** | 4个月 | 3个月 | 1个月 |
电源 | 5 kW | 8.5 kW | 10.5 kW |
尺寸（长×宽×高）mm | 1500×1000×1200 | ||
重量，包括激光组件 kg | 770 | ||
房间洁净度等级 | ISO 7 | ||
水流量 | 10升/分钟 | 15升/分钟 | 25升/分钟 |