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ATHENA温控器的用户手册免费下载
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2020-04-17
肖秀光
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ATHENA是一个模拟器，提供一般的能力，数值，物理基础，二维模拟半导体加工。ATHENA有一个模块化的架构，可以使用以下许可的工具和扩展：•ATHENA：该工具执行结构初始化和操作，并提供基本的沉积和蚀刻设备•SSUPREM4：该工具用于硅半导体结构的设计、分析和优化。它模拟了硅的离子注入、扩散和氧化等过程。•ELITE：该工具是一个通用的二维地形模拟器，可精确描述现代集成电路技术中使用的各种沉积、蚀刻和回流工艺。•OPTOLITH：该工具执行一般光学光刻模拟，包括二维航空成像、非平面光刻胶曝光、曝光后烘焙和显影。
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