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半导体专用设备简介
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2021-04-08
姚小熊27
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作为军用电子元器件的技术支撑，专用设备（以下也称为工艺设备或制造设备）是重要基础之一。在成百上千种电子元器件专用设备中，半导体专用设备集光、机、电、计算机技术于一体，汇各工业领域尖端技术之大成，是最具先进性和代表性的设备。限于篇幅，本章仅以半导体设备作为基本内容加以介绍。
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