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薄膜沉积设备介绍

消耗积分:2 | 格式:pdf | 大小:1.41 MB | 2022-06-22

anron

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薄膜沉积设备作为晶圆制造的核心设备 之一，在晶圆制造环节设备投资占比仅次于光刻机，约占 25%。根据 SEMI 和 Maximize Market Research 的统计，2020 年全球半导体设备市场规模达到 712 亿 美元，其中薄膜沉积设备市场规模约 172 亿美元。目前，薄膜沉积设备中 CVD 类设 备占比最高，2020 年合计占比 64%；溅射 PVD 类设备占整体市场的 21%。 PECVD 是薄膜设备中占比最高的设备类型，占整体薄膜沉积设备市场的 34%。
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