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超大规模集成电路快速热处理技术

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:1.06 MB | 2011-10-28

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本文介绍了快速热处理技术的研究成果包括: R H T 设备, 高剂量注入硅的R T A 机理与最佳R T A 条件选择, 以及浅P N 结制造,硅化物形成, BP SG 回流和薄氧化层的快速氮化等R T P技术.
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周家胜 2012-08-31
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太好了 资料翔实 收起回复

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