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真空泵系统数据采集远程监控解决方案介绍

消耗积分:0 | 格式:docx | 大小:0.42 MB | 2024-03-26

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　　半导体制造业可以说是现代电子工业的核心产业，广泛应用于计算机、通信、汽车、医疗等领域。而在半导体生产加工过程中，如刻蚀、 镀膜、 扩散、沉积、退火等环节，真空泵都是必不可少的关键设备，它可以构建稳定受控的真空环境，以避免产品出现污染、氧化或者其他缺陷，对于半导体产品的品质、寿命以及性能都有着不可忽视的影响。

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