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微机械加速度传感器性能的等效电学模拟

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:284 | 2009-07-13

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建立了微机械电容式加速度传感器的等效电学模型,通过振动特性的等效电路模型分析了
加速度传感器对正弦加速度信号,阶跃加速度信号,及存在反馈时的直流加速度信号的振动位移响应情况;利用压控电容模型分析了加速度传感器检测正弦加速度信号时的小电容检测电路的性能。模拟结果表明采用反馈可以拓宽加速度传感器的测量范围,利用等效电学模型可以优化接口电路的整体性能。
关键词:微机械加速度传感器;等效电路模型;压控电容模型;模拟
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