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低压驱动RFMEMS开关设计与模拟

消耗积分:0 | 格式:docx | 大小:132KB | 2015-03-23

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近年来射频微电子系统(RFMEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到广泛关注,特别是MEMS开关构建的移相器与天线,是实现上万单元相控阵雷达的关键技术,在军事上有重要意义。
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