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微热板阵列的热测试和热分析

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:567 | 2009-07-18

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集成的阵列式的微传感器发展的一个方向，列如光谱气体传感器，该种传感器需要把多个微热板集成在同一个芯片，形成微热板阵列的器件形式。
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