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COMSOL系列资料_等离子体模块简介
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2015-12-30
赵俊波
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等离子体模块是用于模拟低温等离子源或系统的专业工具。借助模块中预置的物理场接口，工程师或科学家可以探究物理放电机理或用于评估现有或未来设计的性能，例如直流放电、感应耦合等离子体、容性耦合等离子体、微波等离子体、表面气相沉积等。
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