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大直径单晶体生长控制系统研制

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:135 | 2009-09-08

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本文研制开发了一种大直径单晶体生长控制系统，主要部件采用稀土永磁直流力矩测
速机组，滚珠丝杠，嵌入式单片机、交流伺服电机等。提出了一种用单片机和D/A 转换器实现交流伺服电机多波形控制的优化算法，提高了控制精度，简化了编程方案。试验证明它性能可靠，工作稳定，是较完美的大直径单晶体生长控制系统。现已正式投入使用。
关键词：单晶体生长；滚珠丝杠；控制系统；嵌入式单片机
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