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低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程
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2009-10-20
张艳
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低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程:为揭示低能电子束照射接地绝缘薄膜的负带电过程及其机理，建立了同时考虑电子散射与电子输运的计算模型，综合Monte Carlo方法和有限差分法进行了数值模拟，获得了内部空间电荷、泄漏电流和表面电位随电子束照射的演化规律2 结果表明，入射电子因迁移、扩散效应会超越通常的散射区域产生负空间电荷分布，并经过一定的渡越时间后到达接地基板，形成泄漏电流，负带电暂态过程则随着泄漏电流的增加而趋于平衡2 在平衡状态下，泄漏电流随电子束能量和电流而增大；薄膜净负电荷量和表面电位随膜厚而增加、随电子迁移率的增大而降低，随着电子束能量的变化均会出现最大值。
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