在激光直写运动控制系统中,为克服电机转动的负载扰动、气浮导轨的气膜扰动以及驱动系统的机械共振等噪声,实现载物工作台的高精度定位,本文设计了基于双NiosII软核的数字伺服运动控制系统。
本闭环伺服系统主要包括四部分:控制对象、位移传感器(反馈环节)、控制单元及执行器。
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