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微型机电系统的特点及应用
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2018-01-23
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科学技术向微小领域发展，由毫米级、微米级继而涉足纳米级，人们把这个领域的技术称之为微米以纳米技术。微米以纳米技术使人类在认识和改造自然方面进入一个新的层次，开发物质潜在的信息和结构能力，使单位体积信息处理和运动控制的能力实现又一次飞跃。将在信息、材料、生物医疗、航空航天和工业等方面产生重大影响。微型机电系统（M EMS）是其中的一个新兴的高科技领域，提到它就会联想到微电子技术。当前“奔腾Ⅲ”的一片芯片上就有950万个晶体管。微电子器件的开关速度受电子传输路径长度的限制，其微型化要求迫切。美国规划微电子线宽由1998年的Q 2um、2001年的Q 18um，发展到2010年的Q 07um，科学家还要进一步突破其极限。微电子技术的另一重大贡献是在其基础上发展了M EM S。一般M EM S是基于硅材料技术的。硅的机械和电子性能好，已有的微加工技术和设备还在发展，微电子和微机械的集成化潜力巨大。
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