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基于等倾干涉的二维微位移光学传感测距系统
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近年来，传感器技术飞速发展，对于传感器的研究已成为国内外研究的重要课题之一．在位移测量方面，基于压电效应、霍尔效应、光纤原理等物理规律的传感器技术研究已经颇为成熟，但是此类位移传感测量技术大都是一维的位移测量，且测量精度还有待提高．在位移测量系统中，采用单片机与PC机构成的小型传感器测控系统，因其价格低廉、功能强大、易于实现等特点，成为近年来应用的热点．而光学传感技术因其测量精度高亦成为人们竞相探索的领域．本文所采用的光学干涉技术在微位移传感方面是一种重要的方法．传统的F-P等倾干涉技术，仅能运用于一维微位移光学测量．在二维微位移传感方面，依据光纤技术，二维磁效应、差动电感式及各类光电式的二维传感器已经先后面．其测量精度参差不齐，而本文对比各种新型干涉结构在光学微位移传感技术方面可能的应用和研究，得出等腰直角劈等倾干涉结构最适用于对二维微位移实现光学传感测量．该微位移光学传感测距系统采用等腰劈的等倾干涉产生的干涉条纹作为前端信号，经CCD （charged coupled device）光电转换后，通过单片机进行信号的采集与预处理，并将信号通过串行通信发送给PC机作图你处理．所采用的技术为多光束分振幅式等倾干涉，其干涉条纹细锐，明暗对比强烈，所以测量精度很高，理论上可达l0-6～l0-7 m，因此本系统在肉眼难以观察的微位移测距方面具有一定的应用前景．
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