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半导体清洗工艺

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:3940 | 2010-08-20

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杂质玷污对器件性能的影响

硅片表面杂质玷污的来源

有机溶剂的去污作用

碱在化学清洗中的作用

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