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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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基于MEMS的GTI滤波器
2011-07-25
857
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基于MS3110电容读取芯片的MEMS加速度计
2011-07-16
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一种齐平封装的MEMS高频响压力传感器
2011-06-10
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MEMS层叠式硅基微带天线设计
2011-06-10
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MEMS及微机械加速度计可靠性研究
2011-03-29
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飞思卡尔基于MEMS的动作感应加速计系列
2011-03-29
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MEMS在电气设备中应用探讨
2011-02-15
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Virtus推出MEMS运动传感装置Micro Sensing Mote Kit及VLogger
2011-02-08
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19
RF MEMS压控振荡器的研制及相位噪声特性研究
2011-01-01
374
19
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2010-11-27
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MEMS 经典教材
2010-11-19
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241
基于MEMS工艺技术的无线网络压力传感器芯片设计及应用研究
2010-11-17
390
30
基于熔焊的MEMS真空封装研究
2010-11-15
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39
MEMS器件气密封装工艺规范
2010-11-15
549
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MEMS-IC设计的新平台和结构化方法
2010-09-23
531
0
基于MEMS的压电微能量采集器的电路研究与测试
2010-08-13
472
22
MEMS惯性传感器简介
2010-07-08
544
46
基于MEMS与单片机的西瓜成熟度无损检测系统的研究
2010-07-05
495
19
MEMS motion sensors
2010-03-01
503
16
RF MEMS压控振荡器及相位噪声特性的研究
2010-02-26
809
19
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