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MEMS器件气密封装工艺规范

消耗积分:10 | 格式:rar | 大小:326 | 2010-11-15

李静

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MEMS是融合了硅微加工,LIGA和精密机械加工等多种加工技术,并应用现代信息技术构成的微型系统.
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