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MEMS及微机械加速度计可靠性研究
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2011-03-29
yuer8468
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摘要: 由于MEMS 器件的应用日益频繁, 其可靠性研究就显得十分重要。介绍了引起可靠性问题的原因。
以微机械加速度计为例, 指出了该加速度计的可靠性问题, 以及对其可靠性测试研究的内容。
关键词: 微电子机械系统; 可靠性; 微机械加速度计
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