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内圆切片机设计

消耗积分:0 | 格式:rar | 大小:1.31 MB | 2021-04-10

姚小熊27

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　　为了提高 IC 生产线的生产效率，降低生产成本，IC 生产线所需硅圆片直径 不断增大。为了满足硅圆片加工的需要，硅片切割设备一方面向大片径化方向发 展，另一方面向高精度、高自动化及高智能化方向发展。

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