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采用PLC控制制备铁电薄膜的液态源系统
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2009-02-10
张磊
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摘要:为了提高制备铁电薄膜的可靠性和重复性，设计了基于PLC控制的液态源MOCVD系统。通过触摸屏完成系统控制、工艺参数设置及数据显示，实现了工艺过程的自动化控制。同时为了确保工艺过程的安全性，系统设计了异常报警、废气处理等组件。实际
应用表明，该系统结构紧凑、自动化程度高、控制灵活，适合于沉积制备高质量的金属氧化物薄膜。
关键词:金属有机物 化学气相 沉积 可编程控制器 触摸屏薄膜
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