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通过精密控制驱动微机电系统 (MEMS)

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:174.53KB | 2022-11-17

陈勇

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驾驶微机电系统 (MEMS) 就像驾驶机动车一样。这取决于应用程序。机动车辆从小型摩托车到采矿作业中使用的最大型卡车（驾驶微机电系统 (MEMS) 就像驾驶机动车一样。这取决于应用程序。机动车辆从小型摩托车到采矿作业中使用的最大型卡车（图 1 ）应有尽有。图 1 ）应有尽有。MEMS 还服务于不同的市场。MEMS 与矿用卡车一样大，但在微观上却朝着相反的方向发展（MEMS 还服务于不同的市场。MEMS 与矿用卡车一样大，但在微观上却朝着相反的方向发展（
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