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用离子注入技术实现金属表面的改性
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2011-05-22
dplion
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给金属表面注入一定的高能离子，这些离子与金属中的元素以及真空气氛中的某些元素在金属表面形成一种表面台金．借以改善金属表面的性能。本文通过大量的实验和分析得知，在碳钢中分别注入N 和Ti。在铝中注入N ，在铣中注入Me 和po~的表面耐磨性能的改善情况；在铁中注八Ta 和cr ． 在钢中注入Cr +Mo+的表面耐腐蚀性能的改善情况。本文提出用真空镀膜加离子注入的动态混台方法是金属表面性能改善的一种颇有前途的新技术。
离子注入就是从离子源发出的离子经过加速极加速到一定的能量， 由磁分析器进行离子选择，然后通过聚焦、扫描， 最后打到靶片上。图1是一个离子注入机的示意图。离子或粒子的能量不同，打到靶片上会产生不同的效应。如图2(1)所示。对于金属中的离子注入，其离子的能量要大于l0 keV。金属中的离子注入具有许多其它方法无法比拟的优点。离子注入法与热扩散法不同， 它不依赖于固溶度和热扩散系数， 可以在室温下注入，可以注入任何一种元素。
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