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SECS/GEM标准模型分析及应用

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:550 KB | 2011-08-01

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 SECS/GEM是半导体自动化生产中广泛采用的一个行业标准。首先介绍了SECS/GEM标准的整体框架，并分析了其行业发展状况，然后依次说明了SECSⅠ/Ⅱ、GEM、HSMS各个分层标准的数据报文格式、传输控制模型、状态转换模型以及相互间的通信控制方式等，最后分析了该标准在我国半导体自动化生产中的应用状况。实践表明，SECS/GEM标准设计严谨，适应面广，在我国半导体工业中应用前景广阔。

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