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双面电池的研究应用
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2023-11-02
陈文博
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摘要： 高效太阳能电池与埋地接触太阳能电池一样，通常需要致密的氮化硅作为扩散屏障和抗反射涂层。这通常是通过低压化学气相沉积来实现的（LPCVD）使用二氯硅烷基氮化物在700°C-800°C的温度范围内沉积。 在这项工作中，我们目前采用正面埋接接触和背面丝网印刷的双面太阳能电池，采用较低的基于双（叔丁基氨基）-硅烷（BTBAS）前驱体的LPCVD工艺。用于氮化物沉积在550°C至600°C的范围内。 生产的太阳能电池在正面和背面 76.8%。这种较高的填充因子值表明这种混合接触结构有效适用于双面太阳能电池结构。此外，与以下设备相比，电池结构具有更好的机械强度双面埋式接触太阳能电池。
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