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半导体工艺技术

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:50 KB | 2011-10-31

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Chapter 1. Progress and Main Factors of Semiconductor Technology
 Invention of Transistor and Integrated Circuits
 From SSI to VLSI/ULSI/SLSI
 Device Miniaturization---The Key of Progress
Micro-fabrication Technology---The Way to Progress
 Si and its based Thin Films---The Material Base for Progress
 Moore’s Law
 Semiconductor Technology Roadmap
 Leading Edge CMOS Technology
 Microelectronics Revolution and Information Age
 From Micro- to Nano-
 
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