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MEMS加速度计振动校正说明
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2023-11-23
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高性能MEMS加速度计为各种集成惯性测量的应用提供低成本 解决方案。具体例子包括：导航和AHRS系统，用于机器健康状 况检测的振动监控，基础设施的结构健康状况监控，以及用于 平台稳定、井下定向钻探的倾斜监控、施工行业平路机和勘测 设备的调平、吊车稳定系统吊杆倾角测量的高精度倾角计。在 大多数此类例子中，加速度计会经受不同幅度的振动。这些应 用的另一个不同方面是振动的频率成分。振动与传感器和系统 误差源相结合可能导致振动校正，这是高性能加速度计的一个 重要指标。本文说明MEMS加速度计中的振动校正是如何发生 的，并讨论各种测量此参数的技术。作为案例研究，本文会讨 论低噪声、低功耗加速度计ADXL355的振动校正。低振动校正 误差以及所有其他特性，使这款器件成为上述精密应用的理想 之选。
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