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MEMS加速度计基本振动特性
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2023-11-28
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MEMS加速度计终于达到了能够测量广泛机器平台振动的阶段。其最近的能力进步，加上MEMS加速度计已有的相对于传统振动传感器的诸多优势(尺寸、重量、成本、抗冲击性、易用性)，促使一类新兴的状态监控 (CBM) 系统开始使用MEMS加速度计。结果，许多CBM 系统架构师、开发者甚至其客户首次考虑使用此类传感器。他们面临的问题常常是如何快速了解评估MEMS加速度计功能的方法，以便在其机器平台上测量最重要的振动特性。这初看起来似乎很困难，因为MEMS加速度计数据手册表述最重要性能特性的方式常常不是开发人员所熟悉的。例如，许多人熟悉用线速度 (mm/s) 来量化振动，但大多数MEMS加速度计数据手册是用基于重力的加速度 (g) 来表达其性能指标。幸运的是，有一些简单的技术可用来将加速度转换为速度，以及估计加速度计关键特性(频率响应、测量范围、噪声密度)对重要系统级标准(带宽、平坦度、峰值振动、分辨率)的影响。
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