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利用6517A静电计对惰性气体或小型晶体进行高值电阻测量

消耗积分:0 | 格式:pdf | 大小:862 KB | 2011-12-22

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晶体材料是现代电子和光电子技术的基础。因此，这些材料的电子特性，如(各向异性) 电导率和光电导率以及与这些特性有关的温度依存性，都是研究人员关注的问题。采用大量结晶技术的晶体生长尺寸可能不大，但往往表现出极高的电阻。这个应用笔记说明如何利用专门设计的测量室和分子束沉积(MBD)系统（在晶体或薄膜生长过程中对其进行现场测量）来测量高达1017Ω的电阻。
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