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硅中磷杂质的SIMS定量检测

消耗积分:3 | 格式:pdf | 大小:512 KB | 2012-02-07

王兰

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样品的前期处理工艺会对检测结果产生影响。不同处理工艺得到的样品,在表面粗糙度方面产生区别。不同的表面粗糙度,影响到样品的测试时间和测试精度。同时,通过仪器调试,仪器的真空度达到1×10-10  torr,使测试背底和检测限降低。

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