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容性耦合射频(CCRF)放电等离子体特性实验研究

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:120 | 2009-06-23

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利用自行研制的传感器和测量装置,通过对射频放电电压电流以及其相位角的测定,算出放电管的总阻抗,结合放电管的等效电路,对容性耦合射频(CCRF) 激励激光器放电特性进行研究,得出容性耦合射频激励激光器等离子体的伏安特性的曲线,以及等离子体电阻、容抗与气体压强、放电电流之间的实验曲线,在Godyak 射频放电模型的基础上得出等离子体的电子密度,并同内置铜电极射频激励铜离子激光器阻抗特性进行了比较。
关键词　容性耦合射频放电　等效电路模型　放电特性
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