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热激励硅谐正式压力传感器温度场的有限元计算

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:135 | 2009-06-24

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针对一种典型的采用电阻热激励、压敏电阻拾振的压力微传感器的实际结构，利用有限元法系统地对其温度场进行模拟计算，分析并得出了激励电阻在粱谐振子上位置、长度、宽度变化时；粱谐振子长度、宽度、厚度变化时；以及激、拾振子阻共同作用时，梁谐振子温度场的分布规律。

关键字   热激励    谐振子传感器   压力传感器   硅微结构   有振元法

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