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PECVD功率对减反射膜及电池电性能的影响_科技论文_袁静

消耗积分:3 | 格式:doc | 大小:345KB | 2015-05-03

夏末amy

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本文对板式及管式PECVD中的微波和射频功率进行了调节，通过分析其对氮化硅薄膜厚度与折射率的影响，指出其对目前生产线工艺的影响，以及对最终电池片电性能的帮助作用。
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