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基于VI的恒温区段测量系统设计

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:517 | 2009-09-16

生龙活虎3

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在半导体器件的生产过程中需要定期测量扩散炉、合金炉的恒温区段，针对人工测量
效率低，精度差等问题，设计了基于LabVIEW 虚拟仪器的恒温区自动测量系统，阐述系统的组成和测量原理。
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