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激光调制的可控大功率微波射频源

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:455 | 2009-10-23

李艳

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激光调制的可控大功率微波射频源:本文研究了用于激光调制的可控大功率微波射频源的设计技术及其实现技术。文中详细阐述了大功率微波源的硬件实现技术、微波信号源的控制技术、自动环路控制技术以及微波射频功率和频率的检测技术，研制出了用于激光准分子步进投影扫描光刻机的自动控制大功率微波源。所研制的微波射频源的频率调节范围1700MHz到1800MHz,步进200KHz，输出功率调节范围在15dBm到40dBm连续可调。该微波源已经应用于激光准分子步进投影扫描光刻机，实际应用效果良好。
关键词： 大功率微波源，激光准分子光刻机，功率检测，频率控制
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