近年来,大气压非平衡等离子体因其独特的优势受到越来越多的关注。由于它是在周围的大气中进行放电的低温等离子体使得原来比较难以实现的应用变为现实,比如生物医学;同时,大气压非平衡等离子体去除了昂贵且极其繁琐的真空系统,使得它的成本大大降低,其中一个非常重要的应用就是材料表面改性。
介质阻挡放电( Dielectric Barrier Discharge,DBD)等离子体因其能够在大气压下产生大面积均匀辉光放电或者是汤森放电而极具工业应用价值。其最终应用效果与等离子体特性密切相关,而等离子体特性主要由其激励电源决定。一般情况下,产生DBD等离子体的电源主要采用交流高压激励,但是要想获得均匀放电,对介质材料、电源频率、气隙结构都有很高的要求。随着脉冲功率技术的发展,研究发现当采用ns脉冲电压驱动代替传统的交流驱动时,快速上升的电压能够迅速电离气体,流注发展时间短,可有效抑制放电向火花或者弧光模式转变,因此它使得人们能够在更大的参数范围内获得均匀的非平衡等离子体。
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