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直流脉冲辉光等离子体控制电路及其灭弧效果分析
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2010-04-22
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直流脉冲辉光等离子体控制电路及其灭弧效果分析
摘要:对等离子体氢还原金属氧化物实验中设计的控制电路进行了介绍，对控制电路实际灭弧功能进行了测试，分析了放电过程中引起弧光放电的原因，指出维持稳定辉光放电需要采取的措施.
关健词：控制电路;灭弧;直流辉光等离子体
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