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基于LTCC工艺的数字三轴加速度传感器的研制

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:274 | 2010-07-26

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将微机械加工工艺与混合集成技术相结合，设计并制作了具有R义22标准接口的数字三轴加速度传感器。采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺将敏感元件、信号调理电路、模数转换电路和接口电路集成于一体，集成后的体积为45mmx45Inln x15mm，实现了传感器的数字化、小型化和模块化，并大大提高了系统的测量精度和可靠性。
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