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一种硅微谐振式压力传感器的敏感膜片设计

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:480 | 2010-10-14

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根据正方形膜片的变形和应力分布情况，提出了一种硅微谐振式压力传感器敏感膜片的设计方法，设计了两种正方
形间接连接式压力敏感膜片．在相同的膜片面积下，新膜片与原有矩形间接连接式压力敏感膜片性能相近，为内部谐振器的
多样化提供了基础．最后，就压力敏感膜片的工艺设计进行了探讨，认为采用正方形凸角补偿结构的(110>硅岛和采用边长补
偿的<100>硅岛最适合间接连接式压力敏感膜片．
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