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插值细分方法在激光衍射测量中的应用研究

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:654 | 2010-12-23

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摘 要: 在激光衍射法测量微细线径的基础上 ,提出用硬件插值细分的方法来确定衍射图样暗纹间距。介绍了激光衍射法测量微细直径的原理 ,分析了图像传感器的功能和硬件插值细分的机理 ,给出了插值细分的电路框图。实验结果表明:采用插值细分的方法能够提高图像传感器的分辨力和细丝直径的测量精度。

关键词: 激光衍射; 暗纹间距; 固体图像传感器; 插值细分

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