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HVM中用于光刻的EUV源:历史和前景

消耗积分:5 | 格式:pdf | 大小:5.52 MB | 2022-06-11

林益梅

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HVM中的EUV光刻
 
•背景和历史
 
•使用NXE的EUV光刻：3400B
 
•EUV生成原理
 
•EUV来源：架构
 
•现场EUV源
 
•电源展望
 
•总结
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