介绍了EMCCD 的结构原理, 详细分析了EMCCD 的噪声来源。利用在EMCCD 芯片内嵌入独特的全固态电子倍增结构, 实现放大信号, 抑制噪声的功能。通过对几种主要噪声的数学模型进行分析, 总结出EMCCD 噪声的3 点特性: EM 增益有效抑制了读出噪声; EM 增益过程产生的噪声因子对倍增结构之前的噪声有放大作用; 时钟感生电荷(CIC) 的影响在EMCCD 中变得重要。提高增益、深度制冷、时钟波形优化等方法可有效抑制噪声。
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