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半导体集成电路可靠性测试及数据处理

消耗积分:10 | 格式:rar | 大小:2.41 MB | 2012-04-23

王兰

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半导体集成电路的晶圆级可靠性的主要测试项目包括MOS器件的热载流子注入测试、栅氧化层完整性测试以及余属互连线的电迁移测试。有效的测试与可靠的数据分析是可靠性测试成功的关键。
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yayalekid 2015-09-10
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