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电容传感器在高温条件下的研究应用

消耗积分:2 | 格式:rar | 大小:192 | 2009-07-02

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本文在综述电容传感器的工作原理结构特点以及灵敏度的基础上，提出一种结构新颖，性能独特的电容式位传感器装置，它能够对在线化学气象镀膜反应器喷嘴低面与玻璃板之间的距离进行高精度的实时监控。

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