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一种硅微振动角速度传感器

消耗积分:2 | 格式:rar | 大小:413 | 2009-07-17

李静

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介绍了一种静电驱动、电容检测单自由度硅微振动角速度传感器实验样机的结构、工作原理、加工方法、驱动方法、检测方法和实验结果。实验结果表明，该角速度传感器实验样机已具有一定的性能, 其灵敏度为! 0- ’12 3 ) 4·5 % " * / 量程为! 6 (##4 3 5/ 线性度! "7。
关键词! 角速度传感器/ 静电驱动/ 电容检测
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