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基于压电偏转镜的激光扫描系统设计

消耗积分:1 | 格式:pdf | 大小:2190KB | 2015-08-21

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相比其他诸如音圈和检流计之类的驱动器，压电陶瓷驱动的偏转台和扫描镜具有更快的加速度和更高的带宽，采用位移传感器的闭环系统具有很高的定位精度。针对扫描范围±1 mrad，分辨率几个μrad的激光扫描系统技术要求，提出了以压电陶瓷驱动的偏转镜为核心部件的扫描系统。该系统采用两通道16位D/A，经过数模转换后送功率放大器放大后控制摆镜偏转，系统采用了电阻应变片位移传感器的闭环控制，提高了定位精度。
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